“照相平印术”常见的英文表达是 “photolithography” 。该词由“photo-”(与光相关的)和“lithography”(平版印刷术)组合而成,精准地描述了利用光进行平版印刷的技术,在印刷、半导体制造等诸多领域都会涉及这一概念。