"受激准分子激光器"的英文表达是 "excimer laser"（也可写作 "exciplex laser"，不过 "excimer laser" 更为常用）。
其中，“excimer” 由 “excited（激发的）” 和 “dimer（二聚体）” 组合而成，指受激准分子，即处于激发态的二聚体分子；“laser” 是 “light amplification by stimulated emission of radiation（通过受激辐射进行光放大）” 的缩写，意为激光器。