“基片面积”可以翻译为 "substrate area"。
substrate：指基片、底物或基底，在电子、半导体、材料科学等领域常用来表示承载其他材料或结构的底层。
area：表示面积。
因此，“基片面积”直接翻译为“substrate area”是准确且常用的表达方式。