“化学汽相淀积”常见的英文表达是 Chemical Vapor Deposition,常简写为 CVD。
这是一种重要的材料制备技术,通过气态的化学物质在固体表面发生化学反应,生成固态沉积物,广泛应用于半导体制造、材料涂层等领域。