“真空蒸镀”的英语表达是 “Vacuum Evaporation” 或 “Vacuum Deposition”（后者含义更宽泛一些，涵盖多种真空沉积技术，但在特定语境下也可指真空蒸镀 ）。其中，“Vacuum” 表示“真空”，“Evaporation” 意为“蒸发；蒸镀” ，“Deposition” 有“沉积；镀膜”之意。