“真空蒸镀”的英语表达是 “vacuum evaporation” 或 “vacuum deposition”（后者在更广泛的镀膜技术语境中也常用，但“vacuum evaporation”更精准对应“蒸镀”这一工艺）。
“vacuum”表示“真空”，“evaporation”表示“蒸发、汽化” ，所以“vacuum evaporation”直观地表达了“在真空环境下进行蒸发”这一工艺过程，是“真空蒸镀”较为标准的英文表述。