"Depth-dependent doping profile" 或 "Doping distribution along depth" 都可以用来表达“沿深度掺杂分布图” 。
“Depth-dependent doping profile” 更强调分布与深度的依赖关系，是比较专业和常用的说法；“Doping distribution along depth” 则更直白地描述了沿着深度方向的掺杂分布情况 。